真空泵 是指 利用 机械 、物理 、化学 或物理化学 的方法 对被抽容器 进行 抽气 而获得 真空 的器件 或设备 。
通俗 来讲 ,真空泵 是用各种 方法 在某一 封闭空间 中改善 、产生 和维持 真空 的装置 。
在泵腔内形成 zd通过 旋转 产生 体积 的变化 而将气体 排出 泵外,主要 是在吸气 过程 中,吸气 腔体积 增大 ,真空度 降低 ,将容器 内气体 吸入 泵腔,在排气 过程 中体积 变小 ,压强 增大 ,终 通过 油封 将吸入 的气体 排出 泵外。
按真空泵 的工作原理 ,真空泵 基本上 可以 分为 两种 类型 ,即气体 捕集 泵和气体 传输 泵。
特点 (1)在较宽的压力 范围 内有较大 的抽速 ;(2)转子 具有 良好 的几何 对称性 ,故振动 小,运转 平稳 。
转子 间及转子 和壳体 版间 均有间隙 ,不用 润滑 ,摩擦 损失 小,可大大降低 驱动 功率 ,从而 可实现 较高转速 ;(3)泵腔内无需 用油 密封 和润滑 ,可减少 油蒸气 对真空系统 的污染 ;(4)泵腔内无压缩 ,无排气阀 。
结构 简单 、紧凑 ,对被抽气体 中的灰尘 和水蒸汽 不权敏感 ;(5)压缩 比较 低,对氢气 抽气 效果 差;(6)转子 表面 为形状 较为 复杂 的曲线 柱面 ,加工 和检查 比较 困难 。